臭氧机设备
人工制备臭氧的关键方法是电化学法、光化学法和放电法。放电法的工作原理就是在自然压下使含氧空气在交变高电压电场作用下产生放电，生成臭氧的过程。放电法臭氧机是相对耗能较低，单机臭氧产量最大，是应用较广的臭氧发生装置。以氧气为气源的电晕法臭氧机，需另外配置空压机，冷干机，制氧机。以空气为气源的电晕法开放式臭氧机，专用于空间消毒灭菌，可定时。
影响臭氧灭菌的因素
臭氧杀菌的实际效果关键受其浓度、微生物种类、作用时间、温度、pH、水的理化性质、杂质等要素影响。
（1)臭氧对各式各样微生物清杀实际效果不同。实验表明，臭氧对人类和动物体内的病原体和病毒（如黄金）有影响
葡萄球菌、大肠杆菌、乙型肝炎病毒、沙门氏菌等具有较强的抗杀伤作用，即使对化学消毒剂具有较强的耐药性，对霉菌也具有较强的抗杀伤作用。
(2)温度和湿度也会影响实际的杀菌效果。一般来说，低温高湿有很好的杀菌效果。环境相对大气湿度不足45%时，实验表明对空气中浮游固体几乎没有除去臭氧杀菌的作用，在相同温度下，相对大气湿度超过60%时，实际杀菌效果逐渐增强，相对大气湿度为90%时，杀菌效果最好。
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